久久欧美极品少妇xxxxⅹ麻豆-日本日韩在线中文字幕-日韩丰满人妻福利视频-国产又大又黄又爽视频-97人妻卡一卡二卡三-久久久久91中文视频-少妇人妻偷人精品毛片-精品少妇在线一区二区-久久伊人综合久久伊人,99久久综合最新地址,久久久精品人妻日本,日韩在线成人av电影

似空科學儀器（上海）有限公司歡迎您！ 聯(lián)系電話：18657401082 13917975482
似空科學儀器（上海）有限公司
技術文章
當前位置：主頁 > 技術文章 > RIE反應離子刻蝕機的主要工藝參數(shù)

RIE反應離子刻蝕機的主要工藝參數(shù)

時間：2024-10-18  點擊次數(shù)：3474

RIE（反應離子刻蝕機）的主要工藝參數(shù)涉及多個方面，以下是詳細的介紹：

一、射頻源參數(shù)

  • 頻率：通常為13.56MHz，這是RIE設備中常用的射頻頻率，有助于產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體。
  • 功率：功率大小可調，范圍一般在10~1000W之間，具體數(shù)值取決于設備型號和刻蝕需求。例如，某些RIE設備可能提供200W的射頻功率。

二、腔體及刻蝕參數(shù)

  • 腔體材質：工藝腔體通常采用進口鋁材或不銹鋼材質，內壁經(jīng)過耐腐氧化處理，以確保設備的耐用性和刻蝕效果。部分設備還帶有可視窗口，便于觀察刻蝕過程。
  • 刻蝕均勻性：刻蝕不均勻性通常優(yōu)于±5%，這是衡量RIE設備刻蝕性能的重要指標之一。
  • 刻蝕速率：刻蝕速率取決于刻蝕材料和工藝條件，一般在0.1~1μm/min或400A/min的范圍內。
  • 刻蝕材料：RIE設備可以刻蝕多種材料，包括硅基材料（如Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4等）、三五族材料（如GaN、GaAs等）以及金屬和硅化物等。

三、真空系統(tǒng)參數(shù)

  • 真空泵組：RIE設備通常配備分子泵機組，以提供高真空環(huán)境。例如，某些設備的機臺真空泵組抽速可達620升/秒或500L/秒。
  • 真空度：工藝腔本底極限真空度通常達到1.2×10^-2Pa以上，部分設備甚至能在20分鐘內達到1E-6Torr的真空度，極限真空可達5E-7Torr。

四、氣路系統(tǒng)參數(shù)

  • 氣體種類：RIE設備通常配置多路氣體，以滿足不同刻蝕工藝的需求。例如，某些設備可能配置CF4和O2兩路質量流量（MFM）表控制氣路，N2為保護氣體；而其他設備則可能配置6路氣體以刻蝕硅基和三五族材料。
  • 氣體流量：氣體流量可通過質量流量控制器（MFC）進行精確控制，以確?？涛g過程的穩(wěn)定性和可重復性。

五、其他參數(shù)

  • 電極系統(tǒng)：RIE設備通常配備下電極系統(tǒng)，用于放置和固定待刻蝕的基片。電極系統(tǒng)可能具有水冷控溫功能，以實現(xiàn)對刻蝕過程中基片表面溫度的控制。
  • 自動化程度：現(xiàn)代RIE設備通常具有較高的自動化程度，包括真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量以及工藝過程的全自動控制。此外，設備還可能配備觸摸屏操作界面和Windows環(huán)境的人機界面，便于用戶進行參數(shù)設置和監(jiān)控刻蝕過程。

綜上所述，RIE反應離子刻蝕機的主要工藝參數(shù)涉及射頻源、腔體及刻蝕、真空系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)以及其他多個方面。這些參數(shù)共同決定了RIE設備的刻蝕性能和應用范圍。

公司簡介 新聞資訊 技術文章 聯(lián)系我們
似空科學儀器（上海）有限公司

聯(lián)系電話：
18657401082 13917975482

成人h动漫精品一区二区网页-超碰免费看天天操-成人欧美一区二区三区黑人3p-麻豆蜜臀av中文字幕 | 超碰人妻人人看人人-中文乱码字幕一区二区三区-亚洲视频二区在线视频-婷婷.com综合 | 欧美日韩在线一二三-91唐先生在线视频-久久99久久精品久久综合-日韩一区 中文字幕 | 99精品视频在线99-国产伦一区二区三区免费-97久久天天综合天天-婷婷开心中文字幕久在线 | 日韩骚少妇av网-99re久久这里都是精品视频-久久1997免费视频-日韩少妇av网站 | 麻豆精品国产馆-成人91av在线观看-国产乱子伦一区二区三区一-麻豆精品免费观看麻豆 | bb精品一区二区三区视频-超碰97人人做人人爱2020-国产亚洲精品美女久久久久-久久久久成人精品一区二区 | 99久久综合狠狠综合久久aⅴ-久久精品亚洲成在人线av网址-精品蜜桃午夜三级一区二区三区-精品久久一久久中文 | 婷婷麻豆国产在线观看-国产精品vⅰdeoxxxx国产-成人区精品一区二区婷婷-中文字幕偷乱视频在线 | 91精品欧美久久久久-日韩素人在线电影二区-五十路六十路七十路熟婆av-久久久久综合网在线观看 | 国产精品久久久久高潮-99久久99久久免费精品蜜桃-久久激情中文字幕-日韩av新片在线观看 | 国产精品99久久免费-伊人久久丁香婷婷六月五月综合在线-久久国产精品视频免费看-国产中文字幕成人在线免费观看 | 国产av新二区三区四区-免费在线观看日韩av-婷婷婷婷婷婷婷婷丁香-久久久99久久精品人妻水蜜桃 | 亚洲精品在线啪啪啪-91精品国产综合久久久婷婷-亚洲男同性恋免费网站-欧亚洲视频在线观看免费 | 国产精品久久久久久久av三级-亚洲av不卡免费在线-麻豆xx一区二区三区-蜜臀99久久国产精品久久久久久 | 性久久久久91麻豆-日本中文字幕久久看-91老熟女对白露脸-久久精品这里是国产电影 | 麻豆天美传媒av国产在线观看-av在线播放一区二区三区-国产模特一区二区三区-日韩在线免费观看a级视频 | 欧美日韩亚洲成人网-97人妻精品一区二区三区软件-久久一区二区三区免费的-久久久久人妻少妇精品色 | 久久久久久久久久国产-日韩性生活视频在线-蜜臀av性久久久蜜臀av流畅-亚洲熟妇色xxxxx欧美乱码 | 久久久成人av电影-久久9999久久免费精品国产-国产亚洲自拍a视频-日韩av制服人妻 | 97人妻精品一区二区三区-一区二区三四区免费观看熟女视频-蜜乳av一区二区三-日韩精品卡通动漫网站 | 久久国产精品午夜免费-中文字幕成人在线免费-久久久亚洲熟妇精选-99 视频在线免费观看 | 日韩av在线播放中文-国产激情小视频在线-在线视频中文字幕第一页-69国产精品久久久久 | 国产精品成人av激情在线-国产精品18久久久久久白浆网站-日韩有码中文在线播放-精品午夜电影福利高清 | 亚洲av色综合成人网77777-91精品一区二区三区四区五区-日韩午夜电影福利-99自拍视频在线观看 | 日本丰满老熟妇-国产麻豆精品久久久久-99精品久久久久久国-超碰97免费在线精品 | 日韩美女影院免费在线观看-国产一区二区三区四区免费-日本一区二区偷拍视频-久久这里只有精品第一时间 | 狠狠躁97蜜桃97综合久久久久-av中文字幕最新在线播放-日韩一级毛欧美一级-乱熟女高潮一区二区在线观看下载 | 制服丝袜中文字幕人妻-性色av一区二区三区免费-懂色av一区二区三区在线-中文字幕乱码日韩 | 岛国激情网站中文字幕不卡一区二区-97人1区2区日韩免费观看-自拍偷拍福利视频在线观看-日韩深喉视频网址 | 精品少妇人妻免费看-另类欧美亚洲中文综合-成人中文字幕日韩在线视频-日韩a级片av在线播放 | 欧美日韩老熟女精品-精品91色在线视频-国产欧美日韩视频一区二区三区-97人人澡人人澡| 欧美精品v国产不卡在线观看-亚洲国产成人精品99-北条麻妃99精彩视频-欧美激情第一区二区三区在线播放 | 91久久久久国产一区二区欧美-蜜桃精品中文字幕一区二区-婷婷狠狠爱伊人-国产精品第一页欧美 | 久久亚洲国产综合久久天堂蜜臀-国产精品久久久中文字蜜臀-久久亚洲综合国产欧美一级-国产成人亚洲综合91精品 | 超碰在线资源免费观看-中文字幕久久久久久久久久久四区-国产黄页网址大全免费观看-日韩老熟女激情 | 天天干天天看少妇美女-久久精品国产亚洲av高-久久国产精品视频麻豆-国产麻豆一精品一av一免费软件 | 丰满熟女一区二区三区三州-五月激情中文字幕-五月婷婷在线看-av麻豆国产在线观看 | 国产精品你懂的在线观看网址-国产亚洲av久久久-久久久综合青青伊人-久久www日本 | 麻豆一区二区三区区别-婷婷久久五月天综合-日韩成人av电影免费看-99久久久免费产精品9999 | 国产久久久久久18-日韩毛片网站免费观看-免费看日韩伦理片的网站-日韩 av 在线 电影 |